在入口真空度要求為20~1X10-3Torr的范圍內，相對于小容量的干式螺桿真空泵，采用大容量羅茨增壓泵+小容量干式螺桿真空泵串聯的形式，比單臺大容量干式螺桿真空泵運行產生的費用更少，同時更能保證真空系統的穩定。干式羅茨螺桿真空機組在抽氣速率600~9000m3/Hr的范圍內，均能保證有效的工作真空度。另外，由于真空系統為無水無油系統，所以完全沒有廢油和廢水產生，更加節能環保。由于前級干式螺桿真空泵的抽氣速率（2~13m3/min）的限定，所以如果抽氣速率大或者要求高真空的情況下，推薦選用干式羅茨螺桿真空機組。

       下圖為某項目P&ID系統圖示例：